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光刻技术走下神坛

时间:2025-06-26 13:32:28  编辑:翡翠原石网  访问:439

光刻技术走下神坛

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光刻技术,走下“神坛”,原子光刻技术能够实现直接无掩模图案化,其分辨率甚至小于受波长限制的EUV系统所能达到的分辨率。该公司在其网站上声称:“通过使用原子代替光,我们为芯片...

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