一文详解外延生长技术

时间：2025-06-23 09:30:46  编辑：翡翠原石网  访问：117

一文详解外延生长技术，横向超速外延是基于选择性外延工艺发展而来的一种外延技术。当硅选择外延生长的外延层厚度超过SiO₂岛的台阶高度时，除了沿着垂直硅衬底表面的纵向层生长以外，...