一文详解铜互连工艺

时间：2025-06-21 08:04:28  编辑：翡翠原石网  访问：192

一文详解铜互连工艺，这些步骤共同构成了铜互连工艺的核心流程，确保了铜互连结构的高精度、低电阻和良好的可靠性。铜互连材料的物理化学特性铜互连材料的物理化学特性主要体现在其...