深研院联合攻关破解卡脖子难题首台国产高功率大宽幅磁控溅射设备通过验收

时间：2025-06-23 21:54:15  编辑：翡翠原石网  访问：217

深研院联合攻关破解“卡脖子”难题，首台国产高功率大宽幅磁控溅射设备通过验收，2025年6月17日上午，我国首台具有自主知识产权的高功率大宽幅磁控溅射设备在...通过验收。该设备由北京大学深圳研究生院联合劲嘉集团、深圳后浪实验室共同承担...