福建物构所亚硒酸有机锡超分子环用于纳米光刻取得新进展

时间：2025-06-09 07:46:24  编辑：翡翠原石网  访问：163

福建物构所亚硒酸有机锡超分子环用于纳米光刻取得新进展，亚50nm光刻分辨率的有机锡氧大环体系，仍是推进纳米制造技术发展的关键科学...图1.亚硒酸有机锡氧合分子环结构：(a-d)Sn8、Sn12-α、Sn12-β和Sn12Fe18...