中科仪深耕近70年实现国内干式真空泵多项零的突破

时间：2025-06-27 05:44:50  编辑：翡翠原石网  访问：217

中科仪——深耕近70年实现国内干式真空泵多项零的突破，中科仪干式真空泵已实现集成电路产业核心部件国产化多项零的突破。在半导体...目前，中科仪干式真空泵已在国内多家知名集成电路和光伏巨头企业通过工艺验证...

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