硅熔融键合工艺概述

时间：2025-10-21 20:45:59  编辑：翡翠原石网  访问：754

硅熔融键合工艺概述，硅熔融键合工艺概述硅熔融键合(SFB)作为制造绝缘体上硅(SOI)材料的核心技术，其工艺发展始终与SOI材料需求紧密关联。该技术通过高温退火实现硅片间原子级连接...