清华大学团队论文登Nature为EUV光刻机发展提供新思路

时间：2025-06-01 10:12:59  编辑：翡翠原石网  访问：991

清华大学团队论文登Nature，为EUV光刻机发展提供新思路，荷兰ASML公司是目前世界上唯一的EUV光刻机供应商，每台EUV光刻机售价超过1...对于清华大学SSMB研发团队来说，他们的工作才刚刚开始。

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清华大学团队论文登Nature，为EUV光刻机发展提供新思路，荷兰ASML公司是目前世界上唯一的EUV光刻机供应商，每台EUV光刻机售价超过1...而这次清华大学科研团队SSMB光源的进展，有可能弥补我国EUV技术的不足，从而...